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内容类型

• 学位论文 [7]
• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2016 [2]
• 2009 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [3]
• 2006 [2]
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学科主题

• 半导体器件 [1]
• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 吕兴东 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/02 MEMS驱动器  洛伦兹力  折叠梁  大位移  可变光衰减器  射频开关   大量程高精度光学间距测量系统的研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  师中华 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2016/11/28 光学镜头，镜面间距，低相干测量，MEMS光开关，差分测量   电光陶瓷和微机械光束导向技术的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  董作人 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2016/11/28 PLZT  光学相控阵  MEMS  光开关  CCD  FPGA   翘板式射频MEMS开关的研究 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 5，282-286 作者:  罗小光;  刘茂哲;  李全宝;  焦斌斌;  高超群   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/27 射频开关  单晶硅  微机电系统（mems）  静电驱动  驱动电压  共面波导（cpw）   电磁驱动RFMEMS开关的研究状况 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2007, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 4,18_20,30 作者:  陈大鹏;  李全宝;  景玉鹏;  刘茂哲;  欧毅   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/26 Rf  Mems技术  Rf  Mems开关  电磁驱动 工作电压  驱动力   锂离子蓄电池低温性能研究进展 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2007, 期号: 07 谢晓华; 陈立宝; 解晶莹 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  冲击加速度开关  开关点电可调节  锁定  机电耦合   硅微机械加速度开关技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 贾孟军   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  惯性-静电耦合原理  冲击加速度开关  阈值可调  自锁     RF MEMS开关器件的制作及研究 学位论文  OAI收割 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 孙建海 收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2011/07/19 RF MEMS  RF MEMS开关  插入损耗  驱动电压  隔离度  悬臂梁   RF MEMS开关器件的制作及研究 学位论文  OAI收割 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 孙建海 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2011/07/19 RF MEMS  RF MEMS开关  插入损耗  驱动电压  隔离度  悬臂梁   新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 邢向龙   收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2012/03/06 RF MEMS  开关  锁存  插入损耗  隔离度