机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 国家空间科学中心 [1]
• 半导体研究所 [1]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [6]

发表日期

• 2018 [1]
• 2010 [2]
• 2008 [2]
• 2006 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Microfabricated vapor cells with reflective sidewalls for chip scale atomic sensors 期刊论文  OAI收割 Micromachines, 2018, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 175 作者:  Han, Runqi;  You, Zheng;  Zhang, Fan;  Xue, Hongbo;  Ruan, Yong   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/06/01 Mems Fabrication  Rubidium Vapor Cells  Reflectance  Linear Absorption Contrast  Coherent Population Trapping (Cpt) Spectroscopy  Chip Scale Atomic Sensors   Study of GaN epilayers growth on freestanding Si cantilevers 期刊论文  OAI收割 SOLID-STATE ELECTRONICS, 2010, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 4-7 Chen, J; Wang, X; Wu, AM; Zhang, B; Wang, X; Wu, YX; Zhu, JJ; Yang, H杨辉 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/11/04 FABRICATION  SILICON  MEMS  NITRIDE   Study of GaN epilayers growth on freestanding Si cantilevers 期刊论文  OAI收割 solid-state electronics, 2010, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 4-7 Chen J; Wang X; Wu AM; Zhang B; Wang X; Wu YX; Zhu JJ; Yang H 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2010/04/04 FABRICATION  SILICON  MEMS  NITRIDE   Effects of environmental temperature on the performance of a micromachined gyroscope 期刊论文  OAI收割 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 199-204 Liu, GJ; Wang, AL; Jiang, T; Jiao, JW; Jang, JB 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2011/12/17 MEMS  DESIGN  FABRICATION  DEVICES   Glass wafers bonding via Diels-Alder reaction at mild temperature 期刊论文  OAI收割 sensors and actuators a-physical, 2008, 卷号: 141, 期号: 1, 页码: 213-216 Zhang MJ; Zhao HY; Gao LX 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/04/14 SILICON-ON-INSULATOR  MICROFLUIDIC CHIPS  TECHNOLOGIES  FABRICATION  SYSTEM  FILMS  LAYER  MEMS   Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357 Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2011/11/08 HIGH-ASPECT-RATIO  CRYSTAL SILICON  COMB ACTUATORS  MICROSTRUCTURES  MICROACTUATORS  FABRICATION  MEMS  MASK