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电子学研究所 [2]
高能物理研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2008 [2]
2006 [1]
2004 [1]
学科主题
凝聚态物理 [1]
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究
会议论文
OAI收割
第八届中国微米/纳米技术学术年会, 2006
刘泳宏
;
赵湛
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/09/04
生物传感器
介电泳
反应离子刻蚀
NEMS技术
氯化铯纳米岛生长技术
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1, 页码: 189-192
作者:
罗亮
;
伊福廷
;
张菊芳
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2015/12/25
纳米岛
自组装技术
NEMS
纳米加工技术
硕士论文-氯化铯纳米岛生长及光刻技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
罗亮
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2015/10/12
纳米岛
自组装技术
NEMS
纳米加工技术
反应离子刻蚀
基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 1978-1982
刘泳宏,赵湛
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/09/02
生物传感器 介电泳 反应离子刻蚀 NEMS技术
充电态储存对MH-Ni蓄电池性能的影响
期刊论文
OAI收割
电源技术, 2004, 期号: 12
李晓峰
;
夏保佳
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/01/06
NEMS
纳米技术
谐振器