中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
上海微系统与信息技术... [3]
电子学研究所 [2]
高能物理研究所 [2]
半导体研究所 [2]
力学研究所 [1]
微电子研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [11]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [5]
发表日期
2018 [1]
2017 [3]
2009 [1]
2008 [2]
2007 [1]
2006 [2]
更多
学科主题
Engineerin... [1]
Engineerin... [1]
半导体器件 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共11条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
射频微纳谐振器件的稳定性研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
王凤翔
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2018/05/24
Rf Mems谐振器
频率稳定性
真空封装
寄生效应
射频测试
射频MEMS谐振器的真空封装技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
赵继聪
收藏
  |  
浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2017/05/31
RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性
Characterization of down-state capacitance degradation in capacitive RF MEMS switch with rough dielectric layer
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10244, 页码: 102441W
作者:
Lei, Qiang
;
Lei Q(雷强)
;
Gao, Yang
;
Li, Jun-Ru
;
Jia, Le
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2019/08/29
RF MEMS
capacitive switch
dielectric layer
roughness
latching
down-state capacitance
degradation
Characterization of down-state capacitance degradation in capacitive RF MEMS switch with rough dielectric layer
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10244, 页码: 102441W
作者:
Gao, Yang
;
Li, Jun-Ru
;
Jia, Le
;
Lei, Qiang
;
Lei Q(雷强)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2019/08/27
RF MEMS
capacitive switch
dielectric layer
roughness
latching
down-state capacitance
degradation
An wide-range tunable on-chip radio-frequency LC-tank formed with a post-CMOS-compatible MEMS fabrication technique
期刊论文
OAI收割
MICROELECTRONICS JOURNAL, 2009, 卷号: 40, 期号: 1, 页码: 131-136
Gu, L
;
Wu, ZZ
;
Li, XX
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2011/12/17
RF MEMS
Pull-In Instability Of Micro-Switch Actuators: Model Review
期刊论文
OAI收割
International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, 2008, 页码: 175-183
作者:
Lin WH(林文惠)
;
Zhao YP(赵亚溥)
收藏
  |  
浏览/下载:967/62
  |  
提交时间:2009/08/03
Pull-In
Micro And Nano-Switches
Error Estimation
Theoretical Models
Nanoscale Electrostatic Actuators
Van-Der-Waals
Variational Iteration Method
Rf Mems Switches
Torsional Actuators
Microelectromechanical Systems
Behavior
Parameters
Stability
Forces
Post-CMOS micromachined nickel tunable-capacitors with a large tuning-range under low actuating voltage
期刊论文
OAI收割
MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2008, 卷号: 50, 期号: 9, 页码: 2469-2472
Gu, L
;
Wu, ZZ
;
Li, XX
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2011/12/17
RF-MEMS
电磁驱动RFMEMS开关的研究状况
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2007, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 4,18_20,30
作者:
陈大鹏
;
李全宝
;
景玉鹏
;
刘茂哲
;
欧毅
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2010/05/26
Rf
Mems技术
Rf
Mems开关
电磁驱动 工作电压
驱动力
RF MEMS开关器件的制作及研究
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
孙建海
收藏
  |  
浏览/下载:84/0
  |  
提交时间:2011/07/19
RF MEMS
RF MEMS开关
插入损耗
驱动电压
隔离度
悬臂梁
RF MEMS开关器件的制作及研究
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
孙建海
收藏
  |  
浏览/下载:48/0
  |  
提交时间:2011/07/19
RF MEMS
RF MEMS开关
插入损耗
驱动电压
隔离度
悬臂梁