机构

• 微电子研究所 [2]
• 高能物理研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2004 [1]
• 2003 [1]
• 2002 [1]
• 1997 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 现代光刻技术 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 81-86 作者:  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/26 光刻  分辨力  X射线光刻技术  电子束直写  极紫外线投影光刻  离子束投影光刻   X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 2, 页码: 6，34-39 作者:  王永坤;  陈大鹏;  余雷   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  掩模  后烘烤  有限元技术  瞬态温度场   同步辐射光刻技术进展 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/12/25 同步辐射  光刻技术  研究进展  X射线光刻  掩模  集成电路  制造   同步辐射X射线深度光刻实验 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1997, 期号: 2, 页码: 31-33 作者:  伊福廷;  习复;  唐鄂生;  郑宏卫;  晋明 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2015/12/07 LIGA技术  同步辐射  X射线光刻