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• 上海光学精密机械研究... [2]
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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 绳索牵引自动水平调节机器人的设计与实现 学位论文  OAI收割 工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2011 作者:  余意 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2015/09/02 绳索牵引  水平调节  牵引力调节  机器人  控制系统  cable-driven  leveling-adjustment  force-tuning  robot  control system   一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 1205, 1210 何乐; 王向朝; 王帆; 施伟杰; 马明英 收藏  |  浏览/下载：712/152  |  提交时间：2009/09/18 测量与计量  measurement and metrology  不平度检测  non-flatness measurement  承片台  wafer chuck  调平调焦  leveling control  最小二乘  least square method  光刻机  lithographic tool   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文  OAI收割 作者:  宗永红   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction