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The research about micromachining accuracy control based on fuzzy evaluation algorithm
期刊论文
OAI收割
Concurrency and Computation-Practice & Experience, 2019, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 8
作者:
J.Qiao
;
Q.H.Lu
;
W.B.Zhang
;
X.Y.Xue
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  |  
Beam Shaping Performance Based on Metallic Corrugated Grooves and Dielectric Periodic Gratings at 500 GHz
期刊论文
OAI收割
IEEE ACCESS, 2018, 卷号: 6, 页码: 42507-42515
作者:
  |  
收藏
  |  
Surface micromachined MEMS deformable mirror based on hexagonal parallel-plate electrostatic actuator
会议论文
OAI收割
Dalian, PEOPLES R CHINADalian, PEOPLES R CHINA, OCT 26-29, 2017OCT 26-29, 2017
作者:
Ma, Wenying
;
Ma, Changwei
;
Wang, Weimin
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收藏
  |  
Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect
期刊论文
OAI收割
Microsystem Technologies, 2017, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 411-419
作者:
Wang, Weimin
;
Tao, Fenggang
;
Wang, Qiang
;
Qiu, Chuankai
;
Chen, Zexiang
  |  
收藏
  |  
Effects of Laser Repetition Rate and Fluence on Micromachining of TiC Ceramic
期刊论文
OAI收割
materials and manufacturing processes, 2016, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 832-837
作者:
Zhang, Ying
;
Wang, Yuqian
;
Zhang, Junzhan
;
Liu, Yongsheng
;
Yang, Xiaojun
收藏
  |  
Investigation of femtosecond laser-induced periodic surface structure on tungsten
期刊论文
OAI收割
guangxue xuebao/acta optica sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:
Li, Chen
;
Cheng, Guanghua
;
Razvan, Stoian
收藏
  |  
Micromachining features of TiC ceramic by femtosecond pulsed laser
期刊论文
OAI收割
ceramics international, 2015, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 6525-6533
作者:
Zhang, Ying
;
Wang, Yuqian
;
Zhang, Junzhan
;
Liu, Yongsheng
;
Yang, Xiaojun
收藏
  |  
Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient
期刊论文
OAI收割
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4
作者:
Miao, J(苗静)
;
Shen, WJ(沈文江)
;
He, CD
;
Xue, CY
;
Xiong, JJ
收藏
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Research on PVDF micro-force sensor
会议论文
OAI收割
4th International Conference on Frontiers of Manufacturing Science and Measuring Technology, ICFMM 2014, Guilin, China, June 19-20, 2014
作者:
Ma CZ(马超哲)
;
Du JS(杜劲松)
;
Liu YY(刘意杨)
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  |  
Ultrafast lasers-reliable tools for advanced materials processing
期刊论文
OAI收割
light-sci. appl., 2014, 卷号: 3, 页码: e149
作者:
Sugioka, Koji
;
Cheng, Ya
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