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机构
半导体研究所 [4]
物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2014 [1]
2011 [2]
2003 [2]
学科主题
半导体材料 [3]
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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Step flow and polytype transformation in growth of 4H-SiC crystals
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2014, 卷号: 394, 页码: 126
Liu, CJ
;
Chen, XL
;
Peng, TH
;
Wang, B
;
Wang, WJ
;
Wang, G
收藏
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浏览/下载:240/0
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提交时间:2015/04/14
Surface structure
Polytype transformation
Single crystal growth
Silicon carbide
Semiconducting materials
High-Performance4H-SiC-based metal-insulator-semiconductor ultraviolet photodetectors with SiO2 and Al2O3SiO2 Films
期刊论文
OAI收割
ieee electron device letters, 2011, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 1722-1724
Zhang, Feng
;
Sun, Guosheng
;
Huang, Huolin
;
Wu, Zhengyun
;
Wang, Lei
;
Zhao, Wanshun
;
Liu, Xingfang
;
Yan, Guoguo
;
Zheng, Liu
;
Dong, Lin
;
Zeng, Yiping
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/06/14
Integrated circuits
Metal insulator boundaries
Photodetectors
Semiconducting silicon compounds
Semiconductor insulator boundaries
Silicon carbide
Effect of annealing process on the surface roughness in multiple Al implanted4H-SiC
期刊论文
OAI收割
journal of semiconductors, 2011, 卷号: 32, 期号: 7, 页码: 72002
Wu, Hailei
;
Sun, Guosheng
;
Yang, Ting
;
Yan, Guoguo
;
Wang, Lei
;
Zhao, Wanshun
;
Liu, Xingfang
;
Zeng, Yiping
;
Wen, Jialiang
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/06/14
Aluminum
Annealing
Ion implantation
Pressure effects
Semiconducting silicon compounds
Silicon carbide
Surface roughness
Strain accommodation of 3c-sic grown on hydrogen-implanted si (001) substrate
期刊论文
iSwitch采集
Journal of crystal growth, 2003, 卷号: 257, 期号: 3-4, 页码: 321-325
作者:
Zhang, ZC
;
Chen, YH
;
Li, DB
;
Zhang, FQ
;
Yang, SY
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/05/12
Substrate
Heteroepitaxy
Low pressure chemical vapor deposition
Semiconducting silicon carbide
Strain accommodation of 3C-SiC grown on hydrogen-implanted Si (001) substrate
期刊论文
OAI收割
journal of crystal growth, 2003, 卷号: 257, 期号: 3-4, 页码: 321-325
作者:
Li DB
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2010/08/12
substrate
heteroepitaxy
low pressure chemical vapor deposition
semiconducting silicon carbide
COMPLIANT SUBSTRATE
CRITICAL THICKNESS
SILICON
RELAXATION
MECHANISM
DEFECTS
LAYERS