中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
长春光学精密机械与... [14]
采集方式
OAI收割 [14]
内容类型
期刊论文 [14]
发表日期
2011 [1]
2003 [3]
2000 [2]
1999 [2]
1998 [1]
1996 [2]
更多
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共14条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:
刘震
;
陈波
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2013/03/11
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
X射线衍射仪
反射率计
中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者:
金春水
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2013/03/11
x射线多层膜反射镜
反射率测量
x射线激光
宽角度X射线超反射镜的设计
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2003, 期号: 02, 页码: 253-256
张众
;
王占山
;
秦树基
;
王凤丽
;
陈玲燕
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线超反射镜
多层膜
单纯形调优
X射线超反射镜设计
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 49-54
张众
;
王占山
;
王风丽
;
秦树基
;
陈玲燕
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线超反射镜
梯度多层膜
单纯形调优
长波长软X射线多层膜的设计与制备
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
王国田
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2013/03/11
多层膜:7841
软X射线:5696
长波长:1722
离子束:1191
反射率计:682
软X射线光学:620
反射镜:575
正入射:458
扩展X射线吸收精细结构:419
膜系设计:341
软X射线投影光刻原理装置的设计
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:
金春水
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2013/03/11
软X射线投影光刻
多层膜反射镜
软X射线投影光刻原理装置
激光等离子体光源
28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜
期刊论文
OAI收割
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 200-203
王国田
;
马月英
;
曹健林
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线光学
多层膜反射镜
离子束溅射
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量
期刊论文
OAI收割
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 119-122
吕俊霞
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2013/03/11
软X射线
多层膜反射镜
软X射线多层膜的应用及发展
期刊论文
OAI收割
物理, 1998, 期号: 06, 页码: 39-41+18
作者:
陈星旦
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2013/03/11
软X射线
多层膜反射镜
超薄膜
正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 1996, 期号: 06, 页码: 666-668
作者:
陈星旦
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2013/03/11
显微成像系统:7213
多层膜:5748
软X射线:2657
X射线:1532
正入射:1527
实验研究:1060
反射镜:843
激光等离子体光源:763
工作波长:633
极限分辨率:597