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• 上海微系统与信息技... [22]

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• 期刊论文 [22]

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• 2012 [7]
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浏览/检索结果: 共22条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18 Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/04/17 PEALD  HfO2  Plasma treatment  High-k   Micro-/Nanocombined Gas Sensors With Functionalized Mesoporous Thin Film Self-Assembled in Batches Onto Resonant Cantilevers 期刊论文  OAI收割 IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2012, 卷号: 59, 期号: 12, 页码: 4881-4887 Yu, HT; Xu, PC; Xia, XY; Lee, DW; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/04/23 Chemical sensor  in-wall modification  mesoporous thin film (MTF)  microelectromechanical systems (MEMS)  resonant cantilever   Hyper-branched sensing polymer directly constructed on a resonant micro-cantilever for the detection of trace chemical vapor 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY, 2012, 卷号: 22, 期号: 34, 页码: 18004-18009 Liu, YJ; Xu, PC; Yu, HT; Zuo, GM; Cheng, ZX; Lee, DW; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Chemo-Mechanical Joint Detection with Both Dynamic and Static Microcantilevers for Interhomologue Molecular Identification 期刊论文  OAI收割 ANALYTICAL CHEMISTRY, 2012, 卷号: 84, 期号: 15, 页码: 6679-6685 Yu, HT; Yang, TT; Chen, Y; Xu, PC; Lee, DW; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/04/23 Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105 Wang, ZJ; Cheng, XH; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/04/17 SOI  Simbond  High voltage device  LDMOS   Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18 Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/05/10 Engineering  Physics  Electrical & Electronic  Nanoscience & Nanotechnology  Applied  Optics   Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105 Wang, ZJ; Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/05/10 Engineering  Physics  Electrical & Electronic  Nanoscience & Nanotechnology  Applied  Optics   Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803 He,DW; Cheng,XH; Xu,DW; Wang,ZJ; Yu,YH; Sun,QQ; Zhang,DW 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/04/10 A V S AMER INST PHYSICS   An analytical model for coplanar waveguide on silicon-on-insulator substrate with conformal mapping technique 期刊论文  OAI收割 CHINESE PHYSICS B, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 10210 He,DW; Cheng,XH程新红; Wang,ZJ; Xu,DW; Song,ZR; Yu,YH 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/10 IOP PUBLISHING LTD   Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGe 期刊论文  OAI收割 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 1344-1347 Xu, DP; Wan, L; （程新红）; He, DW; Song, ZR; Yu, YH; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/04/10 NORTHWEST INST NONFERROUS METAL RESEARCH