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上海微系统与信息技... [38]
采集方式
OAI收割 [38]
内容类型
期刊论文 [35]
学位论文 [3]
发表日期
2008 [38]
学科主题
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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第一作者单位
通讯作者单位
发表日期:2008
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相变存储器电学性能测试系统与存储性能演示系统研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
梁爽
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提交时间:2012/03/06
相变存储器
自动化测试
疲劳特性
VC++6.0
LabVIEW
Polycrystalline Si-rich SiSbx bottom heating layer for phase change memory
期刊论文
OAI收割
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS, 2008, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: H147-H149
Rao, F
;
Song, ZT
;
Zhang, T
;
Gong, YF
;
Wu, LC
;
Feng, SL
;
Chen, B
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
THERMAL-CONDUCTIVITY
SILICON
Investigation of environmental friendly Te-free SiSb material for applications of phase-change memory
期刊论文
OAI收割
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2008, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 55010-55010
Zhang, T
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
CRYSTALLIZATION
TRANSITION
STORAGE
FILMS
Reactive-ion etching of Sn-doped Ge2Sb2Te5 in CHF3/O-2 plasma for non-volatile phase-change memory device
期刊论文
OAI收割
THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 516, 期号: 21, 页码: 7871-7874
Xu, C
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Chen, BM
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
OXYGEN
TRANSITION
Oxidant addition effect on Ge2Sb2Te5 phase change film chemical mechanical polishing
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2008, 卷号: 155, 期号: 11, 页码: H929-H931
Zhong, M
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
;
Chen, B
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提交时间:2012/03/24
CHANGE MEMORY
Comparison of the crystallization of Ge-Sb-Te and Si-Sb-Te in a constant-temperature annealing process
期刊论文
OAI收割
SCRIPTA MATERIALIA, 2008, 卷号: 58, 期号: 11, 页码: 977-980
Zhang, T
;
Cheng, Y
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
;
Han, XD
;
Zhang, Z
;
Chen, B
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提交时间:2012/03/24
TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY
RANDOM-ACCESS MEMORY
PHASE-CHANGE
GE2SB2TE5 FILMS
DATA-STORAGE
THIN-FILMS
GROWTH
TRANSITION
SI2SB2TE5
Germanium nitride interfacial layer for chalcogenide random access memory applications
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2008, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 11201-11201
Shen, J
;
Liu, B
;
Song, Z
;
Xu, C
;
Rao, F
;
Liang, S
;
Feng, S
;
Chen, B
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提交时间:2012/03/24
CHANGE OPTICAL DISK
PHASE-CHANGE MEMORY
GE2SB2TE5 FILM
HIGH-DENSITY
DEVICE
Reactive ion etching as cleaning method post chemical mechanical polishing for phase change memory device
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2008, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 762-764
Zhong, M
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
;
Chen, B
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提交时间:2012/03/24
CELL-ELEMENT
BEAM METHOD
Properties of seamless W sub-micro electrode used for phase change memory
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2008, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 2289-2291
Feng, GM
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
;
Wan, XD
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提交时间:2012/03/24
Switching reliability improvement of phase change memory with nanoscale damascene structure by Ge2Sb2Te5CMP process
期刊论文
OAI收割
ELECTRONICS LETTERS, 2008, 卷号: 44, 期号: 4, 页码: 322-323
Zhong, M
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Wang, LY
;
Feng, SL
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提交时间:2012/03/24