机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 专利 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微型压电振动能量收集器及其制造方法 专利  OAI收割 申请日期: 2012-01-01, 作者:  欧毅;  吴航;  郑陶雷;  欧文;  刘宇   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2018/02/01 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片