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微电子研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
专利 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [2]
2009 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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微型压电振动能量收集器及其制造方法
专利
OAI收割
申请日期: 2012-01-01,
作者:
欧毅
;
吴航
;
郑陶雷
;
欧文
;
刘宇
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2018/02/01
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法
专利
OAI收割
专利号: CN200510086971.3, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2007-05-30
作者:
陈大鹏
;
欧毅
;
白宏磊
;
石莎莉
;
申功炘
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/26