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机构
上海微系统与信息技... [27]
微电子研究所 [2]
大连化学物理研究所 [1]
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OAI收割 [30]
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期刊论文 [12]
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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源
专利
OAI收割
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者:
王玮冰
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陈大鹏
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孙西龙
;
刘卫兵
;
明安杰
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提交时间:2018/02/05
纳米孔阵列的制作方法
专利
OAI收割
专利号: CN201210177735.2, 申请日期: 2016-03-30, 公开日期: 2013-12-18
作者:
董立军
;
赵超
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/06/13
一种电解液间歇循环式金属/空气电池系统
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN201210222298.1, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-01-15
孙公权
;
王二东
;
陈利康
;
秦兵
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2014/09/25
新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
周晓峰
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提交时间:2013/04/24
微电子机械系统
加速度传感器
地震检波器
腐蚀自停止
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
蔡梅妮
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浏览/下载:145/0
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提交时间:2013/04/24
MEMS加速度传感器
吸气剂
器件级真空封装
Q
自停止腐蚀
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
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车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴
;
刘洁丹
;
李昕欣
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/02/22
MEMS
MISSM技术
单硅片单面加工
微型释放窗口
基于金硅原电池保护电容加速度计的制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉
;
吴燕红
;
杨恒
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2013/02/22
电容加速度计
金硅原电池
反熔丝
腐蚀自停止
在绝缘层中嵌入纳米晶的半导体材料制备方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101908472A, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2010-12-08
魏星
;
王湘
;
张苗
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王曦
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/06