机构

• 上海微系统与信息技术... [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 专利 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2010 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2010     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种体硅微机械谐振器及制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101867080A, 申请日期: 2010-10-20, 公开日期: 2010-10-20 熊斌; 吴国强; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/01/06 一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101776483A, 申请日期: 2010-07-14, 公开日期: 2010-07-14 熊斌; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 曹毓涵 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS谐振器  圆片级封装  TSV  Cu/Sn键合  真空气密封装