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新型高性能RF-MEMS谐振器研究
学位论文
OAI收割
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:
陈泽基
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2021/06/17
新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器
学位论文
OAI收割
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
王天昀
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浏览/下载：46/0
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提交时间：2020/09/22
射频微纳谐振器件的稳定性研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
王凤翔
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浏览/下载：20/0
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提交时间：2018/05/24
Rf Mems谐振器
频率稳定性
真空封装
寄生效应
射频测试
氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
侯云虹
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2017/06/01
射频MEMS谐振器的真空封装技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
赵继聪
收藏
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浏览/下载：19/0
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提交时间：2017/05/31
RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性
微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势
期刊论文
OAI收割
High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201
作者:
高杨
;
雷强
;
赵俊武
;
吕军光
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浏览/下载：8/0
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提交时间：2019/08/27
谐振器
谐振频率
灵敏度
便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
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浏览/下载：47/0
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提交时间：2016/06/03
微悬臂梁
生物传感器
闭环谐振器
肝癌早诊
局域修饰
便携式
应用于MEMS谐振器的跨阻放大器设计及实现
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学, 2016
作者:
谢勇
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浏览/下载：3/0
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提交时间：2017/08/28
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
杨健
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浏览/下载：65/0
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提交时间：2015/06/02
氮化铝
MEMS
谐振器
有限单元法
压电系数测试
ICP刻蚀
静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
焦海龙
收藏
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浏览/下载：69/0
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提交时间：2014/06/14
MEMS
气压传感器
静电激励
谐振器
气压仪表
