机构

• 半导体研究所 [13]

采集方式

• OAI收割 [13]

内容类型

• 专利 [7]
• 学位论文 [6]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [1]
• 2012 [2]
• 2011 [2]

学科主题

• 微电子学 [13]
• 半导体器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共13条，第1-10条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 王晶晶 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2016/06/03 微悬臂梁  生物传感器  闭环谐振器  肝癌早诊  局域修饰  便携式   氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2015/06/02 氮化铝  MEMS  谐振器  有限单元法  压电系数测试  ICP刻蚀   电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 康中波 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/07/09 基于圆盘谐振器的RF MEMS 振荡器振荡电路研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 郑海洋 收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2012/06/27 高频高品质因子圆盘型微纳机电谐振器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 作者:  解婧 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2011/05/31 微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 刘云飞 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/05/31 一种频率可切换的微机械谐振器及其制备方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-04-30 赵晖; 杨晋玲; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2014/10/31 一种微机械谐振器及其制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-04 杨晋玲; 赵晖; 骆伟; 袁泉; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2014/11/17 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03 康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2014/10/24 频率可切换的微机械谐振器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-25 赵晖; 杨晋玲; 骆伟; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2014/11/17