机构

• 上海微系统与信息技... [14]
• 半导体研究所 [12]
• 电子学研究所 [5]
• 上海光学精密机械研究... [2]
• 微电子研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [36]

内容类型

• 学位论文 [27]
• 期刊论文 [5]
• 专利 [3]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2021 [1]
• 2020 [1]
• 2018 [1]
• 2017 [3]
• 2016 [2]
• 2015 [1]
• 更多

学科主题

• 微电子学 [6]
• 半导体器件 [4]
• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共36条，第1-10条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型高性能RF-MEMS谐振器研究 学位论文  OAI收割 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者:  陈泽基   |  收藏  |   新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器 学位论文  OAI收割 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者:  王天昀   |  收藏  |   射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王凤翔   |  收藏  |   氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 侯云虹 收藏  |   射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |   微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文  OAI收割 High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201 作者:  高杨;  雷强;  赵俊武;  吕军光   |  收藏  |   便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 王晶晶 收藏  |   应用于MEMS谐振器的跨阻放大器设计及实现 学位论文  OAI收割 : 中国科学院大学, 2016 作者:  谢勇   |  收藏  |   氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |