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干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:  全海洋
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2017/06/02
磷酸盐激光钕玻璃环形抛光工艺研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  单海洋
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/28
多光束激光并行直写光栅装置 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:  曹武刚
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28
无掩模激光直写纳米光刻机 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  范永涛
收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2016/11/28
半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  李中梁
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/28
数字式电容微位移传感器的研究与应用 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  师树恒
收藏  |  浏览/下载：230/0  |  提交时间：2016/11/28
双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:  宁志高
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28
半导体激光正弦相位调制实时干涉测量技术的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004
作者:  李代林
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2016/11/28
纳米精度微位移干涉测量技术的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2000
作者:  王学锋
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/28
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文  OAI收割
作者:  郑亚忠
  |  收藏  |  浏览/下载：249/0  |  提交时间：2018/12/26