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电子学研究所 [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
会议论文 [3]
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [3]
2004 [1]
2003 [1]
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共5条,第1-5条
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专题:电子学研究所
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探空集成传感器设计
会议论文
OAI收割
中国微米/纳米第六届学术年会, 2003
武宇
;
方震
;
赵湛
;
陈超
;
张博军
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/09/04
集成传感器
微机电系统
导热检测法
气压检测
铂电阻法
基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计
会议论文
OAI收割
第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003
方震
;
赵湛
;
武宇
;
陈超
;
张博军
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/09/04
有限元分析方法
计算机模拟
MEMS技术
湿度传感器
探空微型电容压力传感器设计
会议论文
OAI收割
第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003
武宇
;
赵湛
;
方震
;
陈超
;
张博军
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/09/04
电容压力传感器
MEMS
基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计
期刊论文
OAI收割
测控技术, 2004, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 10-14
方震,赵湛,武宇,陈超,张博军
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/09/02
有限元分析方法 计算机模拟 MEMS技术 湿度传感器
探空集成传感器设计
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 583-586
武宇,方震,赵湛,陈超,张博军
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提交时间:2010/09/02
集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压