机构

• 半导体研究所 [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 1999 [2]
• 1998 [1]
• 1997 [1]

学科主题

• 半导体材料 [4]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 砷化镓晶片表面损伤层分析 期刊论文  OAI收割 稀有金属, 1999, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 241 郑红军; 卜俊鹏; 曹福年; 白玉柯; 吴让元; 惠峰; 何宏家 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2010/11/23 GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 1999, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 111 郑红军; 卜俊鹏; 何宏家; 吴让元; 曹福年; 白玉珂; 惠峰 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2010/11/23 X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs势光晶片的亚表面损伤层厚度 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 635 曹福年; 卜俊鹏; 吴让元; 郑红军; 惠峰; 白玉珂; 刘明焦; 何宏家 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/23 GaAs晶片化学机械抛光的机理分析 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 1997, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 399 卜俊鹏; 郑红军; 何宏家; 吴让元 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/11/23