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• 上海光学精密机械研究... [8]

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内容类型

• 期刊论文 [7]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2017 [2]
• 2016 [2]
• 2014 [2]
• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system 期刊论文  OAI收割 Opt. Commun., 2017, 卷号: 392, 页码: 77 作者:  Yang, Baoxi;  Huang, Huijie;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing;  Zhang, Yunbo 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/12/25 Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system 期刊论文  OAI收割 Opt. Commun., 2017, 卷号: 392, 页码: 77 作者:  Zhang, Yunbo;  Zhu, Jing;  Yang, Baoxi;  Zeng, Aijun;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/12/25 Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文  OAI收割 J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154 作者:  Chen, Ming;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文  OAI收割 J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154 作者:   收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2017/12/25 Tunable double annular shaped cylindrical vector beam generator 期刊论文  OAI收割 optik, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3060 作者:  Song, Qiang;  Zhu, Jing;  Yang, Baoxi;  Xue, Peipei;  Zhang, Fang 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28 Polarization  Axicon  Vector beam  Micro-manipulation   Tunable double annular shaped cylindrical vector beam generator 期刊论文  OAI收割 optik, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3060 作者:  Song, Qiang 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/28 Polarization  Axicon  Vector beam  Micro-manipulation   Off-line inspection method of microlens array for illumination homogenization in DUV lithography machine 会议论文  OAI收割 international conference on optical instruments and technology - optoelectronic measurement technology and systems 作者:  Zhang Fang;  Zhu Jing;  Yang Baoxi;  Huang Lihua;  Hu Xiaobang 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 Study on the Highly Intelligent Uniformity Correction and the Application for Lithography 期刊论文  OAI收割 SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827 作者:  Cheng Weilin;  Zhang Fang;  Lin Donglinag;  Zeng Aijun;  Yang Baoxi   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2018/12/25