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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
杨健
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2015/06/02
氮化铝
MEMS
谐振器
有限单元法
压电系数测试
ICP刻蚀
通过自组装蛋白质二聚体的方法制备DNA离子通道传感器
期刊论文
OAI收割
科学通报, 2015, 卷号: 60, 期号: 4, 页码: 422-422
作者:
张思奇
;
孙挺
;
汪尔康
;
王家海
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/01/24
DNA
自组装
二聚体
纳米孔
链霉亲和素
离子通道
脉冲法
特异性检测
技术利用
刻蚀法
原位刻蚀法制备TiO_2纳米线阳极薄膜
期刊论文
OAI收割
太阳能学报, 2015, 卷号: 36
作者:
肖黎
;
张永哲
;
许佳
;
姚建曦
;
戴松元
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收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2020/11/25
染料敏化太阳电池
水热法
TiO_2纳米线
原位刻蚀
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
谭鑫
;
沈晨
;
吴娜
;
张方程
;
巴音贺希格
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2014/03/07
凹面光栅
闪耀光栅
分区法
衍射效率
离子束刻蚀
深刻蚀石英光栅中的模式方法
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
吕鹏
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
熔融石英深刻蚀光栅
波长无关分束光栅
宽带光栅
归一化简化模式方法
法布里-珀罗干涉模式方法
一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872
王伟
;
周常河
收藏
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浏览/下载:951/170
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提交时间:2010/05/14
光学制造
微透镜阵列
光刻胶热熔法
软刻蚀
压印技术
optical fabrication
microlens array
thermal reflow
soft lithography
imprint technology
空气氧化选择性刻蚀金属性单壁碳纳米管
会议论文
OAI收割
第九届全国新型炭材料学术研讨会, 厦门, 2009-10
于冰
;
侯鹏翔
;
刘畅
;
成会明
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/08/21
单壁碳纳米管
选择性刻蚀
空气氧化
化学气相沉积法
纳米电子器件
基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究
期刊论文
OAI收割
电子器件, 2008, 期号: 3
王志娟
;
郑玉彤
;
闫晓东
;
汤建华
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/09/25
激光调阻
调阻精度
横向刻蚀长度
横向起刻位置
有限元法
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2007, 期号: 1
李文昊
;
巴音贺希格
;
齐向东
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/09/25
全息光栅
光刻胶热熔法
离子束刻蚀
原子力显微镜
在镍基板上低温生长纳米碳管膜
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2003, 卷号: 009
作者:
王升高
;
汪建华
;
张保华
;
马志斌
;
王传新
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收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2020/11/25
镍基板
低温生长
纳米碳管膜
微波等离子体化学气相沉积法
刻蚀