机构

• 光电技术研究所 [14]

采集方式

• OAI收割 [14]

内容类型

• 期刊论文 [13]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [14]

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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    发表日期：2014    专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Li, Yanli;  Yin, Didi 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/07/10 Moire fringes  focusing and leveling  fringe analysis  lithography   Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Wang, Nan;  Jiang, Wei;  Zhu, Jiangping;  Tang, Yan;  Yan, Wei 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation  moire fringe  lithography alignment   Experimental study of Talbot imaging moire-based lithography alignment method 期刊论文  OAI收割 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2014, 卷号: 58, 页码: 54-59 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Zhou, Pei;  Yu, Junsheng 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10 Alignment  Moire techniques  Gratings  Talbot and self-imaging effects   Collimation Sensing With Differential Grating and Talbot Interferometry 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者:  Wang, Nan;  Tang, Yan;  Jiang, Wei;  Yan, Wei;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation testing  moire fringe  differential grating   Moire interferometry with high alignment resolution in proximity lithographic process 期刊论文  OAI收割 APPLIED OPTICS, 2014, 卷号: 53, 期号: 5, 页码: 951-959 作者:  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Fu, Yongqi;  Xu, Xiangmin;  Yang, Jun 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/07/10 The leveling of mask and wafer in proximity nanolithography using fringe pattern phase analysis 期刊论文  OAI收割 OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3176-3180 作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/07/10 Nanolithography  Leveling  Fringe pattern analysis  Phase extraction   A modified alignment method based on four-quadrant-grating moire for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 17, 页码: 4868-4872 作者:  Di, Chengliang;  Zhu, Jiangping;  Yan, Wei 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/07/10 Coarse alignment  Fine alignment  Image processing  Moire fringe   A moiré-based four-channel focusing and leveling scheme for projection lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Journal, 2014, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 6842663 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Li, Yanli;  Yin, Didi 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/23 Moire fringes characterization of surface plasmon transmission and filtering in multi metal-dielectric films 期刊论文  OAI收割 Applied Physics Letters, 2014, 卷号: 105, 期号: 14 作者:  Guo, Z.;  Zhao, Z. Y.;  Yan, L. S.;  Gao, P.;  Wang, C. T. 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/22 Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Wang, Nan;  Jiang, Wei;  Zhu, Jiangping;  Tang, Yan;  Yan, Wei 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/23