机构

• 光电技术研究所 [8]
• 上海应用物理研究所 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 期刊论文 [10]

发表日期

• 2015 [10]

学科主题

• Alignment [1]
• Diffractio... [1]
• Lithograph... [1]
• Optical co... [1]

筛选

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2015    内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography With Extended DOF 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 20, 页码: 2201-2204 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Gao, Hongtao;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/12/04 Diffraction  depth-of-focus  Talbot lithography  microfabrication   Moire fringe alignment using composite circular-line gratings for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICS EXPRESS, 2015, 卷号: 23, 期号: 16, 页码: 20905-20915 作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Jiang, Wenbo;  Luo, Liang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/04 Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/07/10 Proximity lithography  mask-wafer alignment  phase analysis  spatial frequency   Simulation and experimental study of aspect ratio limitation in Fresnel zone plates for hard-x-ray optics 期刊论文  OAI收割 APPLIED OPTICS, 2015, 卷号: 54, 期号: 32, 页码: 9630—9636 作者:  Liu, JP;  Shao, JH;  Zhang, SC;  Ma, YQ;  Taksatorn, N 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/03/04 ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY  HIGH-EFFICIENCY  RESOLUTION  FABRICATION  MICROSCOPY  RESIST   Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography  alignment  Moire techniques   Moiré fringe alignment using composite circular-line gratings for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 Optics Express, 2015, 卷号: 23, 期号: 16, 页码: 20905-20915 作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Jiang, Wenbo;  Luo, Liang 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/23 Gap-optimized Moiré phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 17105 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/23 Adjustment strategy for inclination moiré fringes in lithography by spatial frequency decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23 Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography with Extended DOF 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 20, 页码: 2201-2204 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Gao, Hongtao;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/23 厚胶接近式光刻中掩模优化研究 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2015, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 74104 作者:  何骏;  刘世杰;  王斌;  郭猛;  王岳亮 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28