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• 上海微系统与信息技术... [4]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [2]
• 2008 [2]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02 李春梅; 卫中领; 沈钰; 王增辉; 陈秋荣 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制   一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01 毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  扫描微镜  约束扭转  单晶硅直梁  横向弯矩  扭转力矩   基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合   一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 毛健 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制