机构

• 微电子研究所 [4]
• 上海微系统与信息技术... [2]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [6]

发表日期

• 2018 [3]
• 2017 [1]
• 1982 [1]
• 1980 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Impact of Ge Preamorphization Implantation on Both the Formation of Ultrathin TiSix and the Specific Contact Resistivity in TiSix/n-Si Contacts 期刊论文  OAI收割 IEEE Transactions on Electron Devices, 2018 作者:  Ye TC(叶甜春);  Mao SJ(毛淑娟);  Wang GL(王桂磊);  Xu J(许静);  Luo X(罗雪)   |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2019/05/05 Enhancing the thermal stability of NiGe by prior-germanidation fluorine implantation into Ge substrate 期刊论文  OAI收割 Japanese Journal of Applied Physics, 2018 作者:  Zhang D(张丹);  Wang WW(王文武);  Chen DP(陈大鹏);  Li JF(李俊峰);  Liu S(刘实)   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/05/20 Impact of Ge pre-amorphization implantation on forming ultrathin TiGe x on both n-and p-Ge substrate 期刊论文  OAI收割 Japanese Journal of Applied Physics, 2018 作者:  Liu S(刘实);  Li JF(李俊峰);  Wang WW(王文武);  Chen DP(陈大鹏);  Zhao C(赵超)   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/05/20 On the manifestation ofGe Pre-amorphization Implantation (PAI) in forming ultrathin TiSix for Ti direct contact on Si in sub-16/14 nm Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS) technology nodes 期刊论文  OAI收割 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2017 作者:  Wang GL(王桂磊);  Li JF(李俊峰);  Zhao C(赵超);  Ye TC(叶甜春);  Chen DP(陈大鹏)   |  收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2018/06/08 射频溅射中的电磁波防护 期刊论文  OAI收割 劳动保护, 1982, 期号: 04 段大娟; 赵克宣; 李生强; 李天胜 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/29 溅射沉积无定形硅薄膜的激光外延研究 期刊论文  OAI收割 自然杂志, 1980, 期号: 11 柳襄怀; 林成鲁; 陈朝荣; 李天胜; 赵克萱; 徐惠定; 段大娟; 吴恒显 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/29