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• 电子学研究所 [7]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 专利 [1]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2010 [2]
• 2006 [2]
• 2005 [3]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2006, 2010-12-24 赵 湛; 王 奇; 曾欢欢; 方 震; 张博军  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2010/12/24 微桥式温湿度传感器研究 会议论文  OAI收割 中国电子学会电路与系统学会第十九届年会, 2005  方震; 赵湛; 王奇; 曾欢欢; 张博军 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/09/04 MEMS  温湿度传感器  微空气桥  导热检测法  热电原理   基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2006, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 726-729 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/09/02 MEMS 压力传感器 氮化硅 温度 补偿   基于Si3+N4+薄膜的压力传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 71-73 王奇，赵湛，耿照新，方震，曾欢欢，张博军 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/02 微机电系统 压力传感器 氮化硅   聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 196-199 曾欢欢，赵湛，王奇，方震，张博军 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/09/02 湿度传感器 聚酰亚胺(PI) 电容式 反应离子刻蚀(RIE) 边缘效应   探空温湿压系统研制 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 61-63 方震，赵湛，王奇，曾欢欢，王溢仲，张博军 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/09/02 集成温湿压传感器 MEMS F350 CC1000 MAX2235   基于MEMS技术的温湿压集成传感器 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 166-168 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/09/02 MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜