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机构
半导体研究所 [14]
采集方式
OAI收割 [14]
内容类型
期刊论文 [11]
成果 [3]
发表日期
2003 [1]
2002 [2]
2001 [1]
2000 [2]
1999 [2]
1997 [1]
更多
学科主题
半导体材料 [9]
微电子学 [3]
半导体器件 [1]
半导体物理 [1]
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共14条,第1-10条
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双异质外延SOI材料Si/γ-Al_3O_3/Si的外延生长
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 12, 页码: 1289-1292
作者:
王俊
;
王俊
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2010/11/23
单晶硅中氢与辐照缺陷的相互作用
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2002, 卷号: 23, 期号: 1, 页码: 43-48
作者:
王俊
;
王俊
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2010/11/23
热退火γ-Al_2O_3/Si异质结构薄膜质量改进
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2002, 卷号: 23, 期号: 11, 页码: 1178-1181
作者:
王俊
;
王俊
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2010/11/23
CMOS集成电路用Φ150-200mm外延硅材料
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 1538
王启元
;
林兰英
;
何自强
;
龚义元
;
蔡田海
;
郁元桓
;
何龙珠
;
高秀峰
;
王建华
;
邓惠芳
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/11/23
薄层SOS薄膜材料外延生长及其器件应用(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 521
王启元
;
聂纪平
;
刘忠立
;
郁元桓
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2010/11/23
用于先进 CMOS电路的 150 mm硅外延片外延生长(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 5, 页码: 426
王启元
;
蔡田海
;
郁元桓
;
林兰英
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/11/23
Ramping热退火直拉重掺锑硅衬底片的增强氧沉淀
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 458
作者:
王俊
;
王俊
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浏览/下载:150/0
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提交时间:2010/11/23
利用改进的固相外延技术改善CMOS/SOS器件的特性
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 433
作者:
于芳
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/11/23
借助硅片减薄重掺硅间隙氧含量低温(10K)红外测量
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1997, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 587
作者:
王俊
;
王俊
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2010/11/23
抗辐射加固CMOS/SOS集成电路研制
成果
OAI收割
院科技进步奖: 三等奖, 1995
主要完成人:
于芳
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2010/04/13
抗辐射