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• 上海光学精密机械研... [47]

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浏览/检索结果: 共47条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文  OAI收割 Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192 作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25 Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003 作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/12/25 Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002 作者:  Zhu BE(诸波尔);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜) 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/12/25 Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文  OAI收割 Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192 作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25 General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文  OAI收割 J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112 作者:  Zhu, Boer;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25 Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002 作者:  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝);  Zhu BE(诸波尔);  Duan LF(段立峰);  Shen LN(沈丽娜) 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文  OAI收割 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文  OAI收割 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Li, Sikun;  Yang, Chaoxing;  Wang, Lei;  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/12/25 General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文  OAI收割 J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112 作者:  Zhang, Heng;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/12/25 Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003 作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔) 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2017/12/25