机构

• 光电技术研究所 [13]

采集方式

• OAI收割 [13]

内容类型

• 期刊论文 [10]
• 会议论文 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2015 [1]
• 2013 [3]
• 2012 [4]
• 2011 [4]

学科主题

• Accelerome... [1]
• Actuators ... [1]
• Actuators ... [1]

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浏览/检索结果: 共13条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文  OAI收割 Microsystem Technologies, 2017, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 411-419 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/11/20 Accelerometers - Actuators - Damping - Dynamic models - Micromachining - Stiffness - Surface micromachining   Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文  OAI收割 Microsystem Technologies, 2015 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/22 A Bi-Directional Out-of-Plane Actuator by Electrostatic Force 期刊论文  OAI收割 MICROMACHINES, 2013, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 431-443 作者:  Ren, Hao;  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17 MEMS  out-of-plane actuator  electrostatic repulsive force  bi-directional  microfabrication  adaptive optics   A 19 element segmented MEMS deformable mirror based on electrostatic repulsive-force actuator 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: MEMS Adaptive Optics VII, 2013 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/25 A bi-directional out-of-plane actuator by electrostatic force 期刊论文  OAI收割 Micromachines, 2013, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 431-443 作者:  Ren, Hao;  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/22 新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文） 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 313-317 作者:  姚军;  陶逢刚;  任豪等 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/22 双向平动  MEMS  变形镜  杠杆驱动器   MEMS grating with interdigitated-comb structure 会议论文  OAI收割 Key Engineering Materials, 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology XIII, CSMNT 2011, 2012 作者:  Zhang, Heng;  Yao, Jun;  Tao, Fenggang;  Zhuang, Xuye 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/25 一种新型微机电系统法布里-珀罗滤波器的设计与分析 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 160-166 作者:  张建飞;  庄须叶;  汪为民;  陶逢刚;  姚军 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/22 光学器件  微机电系统  滤波器  光栅  可调谐法布里-珀罗腔  微桥   A 19 element hexagonal actuator arrangement continuous face-sheet MEMS deformable mirror 会议论文  OAI收割 Key Engineering Materials, 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology XIII, CSMNT 2011, 2012 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Zhang, Jianfei;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/25 An out-of-plane electrostatic actuator based on the lever principle 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2011, 卷号: 21, 期号: 4 作者:  Ren, Hao;  Tao, Fenggang;  Wang, Weimin;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/09/21