机构

• 半导体研究所 [5]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2021 [2]
• 2020 [1]
• 2019 [1]
• 2016 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Novel narrowband radio frequency microelectromechanical systems filters 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 25003 作者:  Liu, Wenli;   Chen, Zeji;   Kan, Xiao;   Wang, Tianyun;   Jia, Qianqian;   Zhu, Yinfang;   Zhao, Jicong;   Yuan, Quan;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2022/11/03 Highly sensitive biosensor based on a microcantilever and alternating current electrothermal technology 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 15009 作者:  Wang, Lihao;   Fu, Dengyuan;   Liu, Xiaochen;   Zhao, Junyuan;   Zhao, Jicong;   Yuan, Quan;   Zhu, Yinfang;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua   |  收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2022/12/29 Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching 期刊论文  OAI收割 MICROMACHINES, 2020, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 638 作者:  Lihao Wang;   Meijie Liu ;   Junyuan Zhao ;   Jicong Zhao ;  Yinfang Zhu;  Jinling Yang;   Fuhua Yang   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2021/06/28 3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity 期刊论文  OAI收割 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2019, 卷号: 286, 页码: 123-132 作者:  Zeji Chen ;   Fengxiang Wang ;   Quan Yuan ;   Xiao Kan ;   Jinling Yang ;   Jicong Zhao ;   Fuhua Yang   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2020/07/31 A low feed-through 3D vacuum packaging technique with silicon vias for RF MEMS resonators 期刊论文  OAI收割 journal of micromechanics and microengineering, 2016, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 014003 Jicong Zhao; Quan Yuan; Xiao Kan; and Jinling Yang; Fuhua Yang 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/03/16