机构

• 光电技术研究所 [12]

采集方式

• OAI收割 [12]

内容类型

• 期刊论文 [10]
• 会议论文 [2]

发表日期

• 2010 [5]
• 2009 [5]
• 2008 [2]

学科主题

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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Moire-based focusing and leveling scheme for optical projection lithography 期刊论文  OAI收割 APPLIED OPTICS, 2010, 卷号: 49, 期号: 31, 页码: 5959-5963 作者:  Yan, Wei;  Yang, Yong;  Chen, Wangfu;  Hu, Song;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/09/21 Extended dual-grating alignment method for optical projection lithography 期刊论文  OAI收割 APPLIED OPTICS, 2010, 卷号: 49, 期号: 4, 页码: 708-713 作者:  Chen, Wangfu;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yang, Yong;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/09/21 An optical modulation based focus method for optical projection lithography 会议论文  OAI收割 Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2010 作者:  Wangfu Chen;  Song Hu 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/24 Moire-based focusing and leveling scheme for optical projection lithography 期刊论文  OAI收割 Applied Optics, 2010, 卷号: 49, 期号: 31 作者:  Yan Wei;  Yang Yong;  Chen Wangfu;  Hu Song;  Zhou Shaolin 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/23 Extended dual-grating alignment method for optical projection lithography 期刊论文  OAI收割 Applied Optics, 2010, 卷号: 49, 期号: 4, 页码: 708-713 作者:  Wangfu Chen;  Wei Yan;  Song Hu;  Yong Yang;  Shaolin Zhou 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/23 Beam Splitter Achieved by Using Metallic Structure with Nanoslits 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1030-1033 作者:  Yang, Yong;  Fu, Yongqi;  Yao, Hanmin;  Hu, Song;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2015/09/21 Beam Splitter  Metallic Nanoslit  FDTD   Fabrication of Nanoscale Line Width Using the Improved Optical Maskless Lithographic System 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1170-1174 作者:  Jiang, Wenbo;  Hu, Song;  Zhao, Lixin;  Yan, Wei;  Yang, Yong 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/09/21 Maskless Lithography  Key Techniques  Lithographic Experiment  Nanoscale   Study on laser direct writing system for 32nm node 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE, 2009 作者:  Jiang Wenbo;  Hu Song;  Yang Yong;  Zhao Lixin;  Yan WEi 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/24 Fabrication of nanoscale line width using the improved optical maskless lithographic system 期刊论文  OAI收割 Journal of Computational and Theoretical Nanoscience, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1170-1174 作者:  Jiang Wenbo;  Hu Song;  Zhao Lixin;  Yan WEi;  Yang Yong 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/23 Beam splitter achieved by using metallic structure with nanoslits 期刊论文  OAI收割 Journal of Computational and Theoretical Nanoscience, 2009 作者:  Yang Yong;  Fu Yongqi;  Yao Hanmin;  Hu Song;  Zhou Shaolin 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/23