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机构
上海微系统与信息技术... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
1996 [1]
1993 [1]
1991 [1]
1990 [2]
学科主题
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共5条,第1-5条
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新型超硬材料氮化碳CN_x的离子束合成的研究
期刊论文
OAI收割
中国科学E辑:技术科学, 1996, 期号: 03
辛火平
;
林成鲁
;
许华平
;
邹世昌
;
石晓红
;
吴兴龙
;
朱宏
;
P.L.F.Hemment
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提交时间:2012/03/29
离子注入形成AIN埋层的分析与计算机模拟
期刊论文
OAI收割
功能材料, 1993, 期号: 03
施左宇
;
林成鲁
;
朱文化
;
U.Bussmann
;
P.L.F.Hemment
;
邹世昌
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/29
离子束合成SOI多层结构的研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1991, 期号: 03
林成鲁
;
张顺开
;
朱文化
;
邹世昌
;
李金华
;
P.L.F.Hemment
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/29
SIMNI和SIMOX多层结构及其光学性质的研究
期刊论文
OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1990, 期号: 09
林成鲁
;
俞跃辉
;
方子韦
;
张顺开
;
倪如山
;
邹世昌
;
李金华
;
P.L.F.Hemment
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/29
SIMOX薄膜上形成钛硅化物的研究
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1990, 期号: 06
林成鲁
;
周伟
;
邹世昌
;
P.L.F.Hemment
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/29
K1 SIMOX薄膜材料
TiSi_2
砷的堆积