机构

• 微电子研究所 [14]
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采集方式

• OAI收割 [22]

内容类型

• 期刊论文 [18]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2014 [1]
• 2010 [3]
• 2009 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [2]
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学科主题

• 半导体器件 [1]
• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共22条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 自组织量子点与微腔耦合结构单光子发光器件制备 学位论文  OAI收割 博士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2014, 2014 作者:  王莉娟   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2014/05/28 自组织量子点+电子束曝光+微柱+高折射率对比光栅+单光子  自组织量子点+电子束曝光+微柱+高折射率对比光栅+单光子   增强MIMO OFDM无线通信仿真 期刊论文  OAI收割 系统仿真学报, 2010, 期号: 08 杨秀梅; 熊勇; 贾国庆 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 扫描电子显微镜(SEM)  电子束曝光(EBL)  图形发生器  纳米结构   总剂量辐射下的NMOS/SOI器件背栅阈值电压漂移模型 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 04 贺威; 张正选 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/01/06 超导纳米线单光子探测器  电子束曝光  反应离子刻蚀  探测效率   小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文) 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 04 殷伯华; 方光荣; 刘俊标; 靳鹏云; 薛虹; 吕士龙 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/01/06 激光器  自组织  量子点  光谱  气源分子束外延   相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 吕士龙 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2012/03/06 相变存储器  　电子束曝光  　混合光刻  　新结构  　新型绝热层　   HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）  电子束曝光技术  抗蚀剂工艺  邻近效应   低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文  OAI收割 真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38 陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/11/01 电子束直写曝光  选择性化学沉积  图案化  electron beam direct- write exposure  selective chemical deposition  patternization   电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：119/0  |  提交时间：2013/11/19 激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿   光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6 作者:  陈宝钦;  刘明;  徐秋霞;  薛丽君   |  收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2010/05/26 微光刻技术  微纳米加工技术  电子束直写  匹配与混合光刻技术   高斯电子束曝光系统 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 4，42-45 作者:  陈大鹏;  杨清华;  刘明;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2010/05/26 电子束曝光  纳米器件  掩模  邻近效应