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• OAI收割 [17]

内容类型

• 期刊论文 [14]
• 会议论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2012 [2]
• 2011 [4]
• 2009 [4]
• 2008 [2]
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浏览/检索结果: 共17条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 压电驱动MEMS光学扫描镜的研制 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 5 作者:  王敏锐;  李文翔 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2013/01/22 MEMS  光学扫描  微镜  体硅工艺  压电陶瓷  微装配   基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制 期刊论文  OAI收割 光通信技术, 2012, 期号: 4, 页码: 22-24 刘英明; 徐静; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/02/22 体硅工艺  光栅光阀  光学调制器  绝缘体上硅  消光比   低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2011, 期号: 05 黄占喜; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 微悬空结构释放  体硅工艺  三维掩膜  各向异性腐蚀  腐蚀模拟   基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 03 黄占喜; 吴亚明; 李四华 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  光刻  多掩膜  体硅工艺   低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   平滑陡直的Si深槽刻蚀方法 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4，214-216,220 作者:  张育胜   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/06/01 硅深槽刻蚀  电感耦合等离子体bosch工艺  化学平衡   一种新的锂离子电池组充电分流方法研究 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2009, 期号: 01 李祖布; 孙宁; 苏瑞丰; 练敏英 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/01/06 体硅工艺  纳米级定位平台  静电驱动  致动机理  特性分析   用Pseudo-MOS晶体管和nMOS晶体管表征SIMOX SOI材料的抗总剂量辐射能力 会议论文  OAI收割 第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会, 2009 毕大炜; 张正选; 张帅; 俞文杰; 陈明 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/18 总剂量辐射效应 晶体管 注氧隔离 绝缘体上硅 加固工艺 注硅加固材料   SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 方娜 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  　微纳米光学  　三维模斑转换器  　微机械加工工艺  　二维光子晶体