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超高线密度多层膜闪耀光栅的同步辐射软X射线研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2021
作者:
骆钧尧
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浏览/下载:91/0
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提交时间:2022/03/02
X射线光学
同步辐射
多层膜闪耀光栅
衍射效率
退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2019, 卷号: 68, 期号: 11, 页码: 166-172
作者:
刘保剑
;
段微波
;
李大琪
;
余德明
;
陈刚
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浏览/下载:323/0
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提交时间:2019/11/13
光学薄膜
Ta2O5/SiO2多层反射膜
退火
应力特性
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
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提交时间:2019/09/17
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:
王一名
;
张超
;
孙秀平
;
匡尚奇
;
杨海贵
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/09/17
薄膜光学
薄膜表征
掠入射X射线反射
云模型量子进化算法
极紫外多层膜
单层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
博士论文-基于几何光学和波动光学的同步辐射光学模拟
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:
胡凌飞
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提交时间:2015/10/14
同步辐射
X
射线光学
晶体衍射光学
单色器
多层膜劳厄透镜
部分相干
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王丽萍
;
金春水
;
喻波
;
郭本银
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:
卢启鹏
;
龚学鹏
;
彭忠琦
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2014/03/07
光学器件
极紫外光刻
碳氢化合物污染模型
多层膜光学元件
二次电子
19_5nm极紫外反射镜的研制
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2008, 期号: 3
赵伟
;
袁宏韬
;
缪同群
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/09/25
薄膜光学
极紫外
多层膜
非周期
离子束溅射
同步辐射
钛酸锶钡铁电多层膜的制备及物性研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2007
作者:
洪学鹍
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提交时间:2012/08/14
溶胶-凝胶工艺
钛酸锶钡
铁电多层膜
相分离
光学微腔