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超高线密度多层膜闪耀光栅的同步辐射软X射线研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2021
作者:
骆钧尧
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退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2019, 卷号: 68, 期号: 11, 页码: 166-172
作者:
刘保剑
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  |  
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
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  |  
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:
王一名
;
张超
;
孙秀平
;
匡尚奇
;
杨海贵
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  |  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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  |  
博士论文-基于几何光学和波动光学的同步辐射光学模拟
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:
胡凌飞
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  |  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王丽萍
;
金春水
;
喻波
;
郭本银
收藏
  |  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:
卢启鹏
;
龚学鹏
;
彭忠琦
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  |  
19_5nm极紫外反射镜的研制
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2008, 期号: 3
赵伟
;
袁宏韬
;
缪同群
收藏
  |  
钛酸锶钡铁电多层膜的制备及物性研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2007
作者:
洪学鹍
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