机构

• 沈阳自动化研究所 [7]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2013 [1]
• 2011 [1]
• 2010 [3]
• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 王亚楠 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/08/19 半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统   有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究 期刊论文  OAI收割 控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  集束型装备  在线调度  粒子群优化算法  滞留时间约束  晶圆  问题研究  调度问题  机械手  调度方法   集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 李林瑛 收藏  |  浏览/下载：340/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统   半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文  OAI收割 系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  两集束型装备  调度  线性规划模型   多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文  OAI收割 计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度   复杂单臂机器人集束型装备调度模型 期刊论文  OAI收割 信息与控制, 2009, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 431-436 作者:  李林瑛;  胡静涛   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/11/29 半导体制造  集束型装备  混合整数规划模型  并行腔  可重入腔   半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754 作者:  康凯;  刘明哲;  徐皑冬   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/29 公共io服务  半导体装备  现场总线  控制系统  接口  通信标准