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	三维石墨烯复合气凝胶的设计、制备及传感性能研究学位论文 OAI收割北京: 中国科学院大学, 2022 作者: 罗榕 \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2023/09/27 石墨烯，气凝胶，应变/压力，压阻式，传感器
	三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 王军诚收藏 \| 浏览/下载：112/0 \| 提交时间：2013/04/24 压阻式三轴集成加速度传感器抗过载 SIP微模块芯片级封装
	基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器表面微机械技术片上静电自检测功能
	厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2006, 卷号: 025 作者: 陈建群; 马以武; 唐力强; 王正宏 \| 收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2020/10/26 厚膜压阻式传感器导电性能掺杂改性灵敏系数
	功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究期刊论文 OAI收割功能材料, 2003, 期号: 05 莫党; 李芳; 陈第虎; 郭扬铭; 魏爱香收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/01/06 压阻式传感器温度漂移温度补偿
	一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2003 黄树森收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2012/03/06 微机械技术压阻式加速度传感器微梁直拉直压灵敏度谐振频率
	小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001 李浩收藏 \| 浏览/下载：38/0 \| 提交时间：2012/03/06 加速度传感器:7293 压阻式:4277 小量程:3846 微机械:2928 悬臂梁结构:2194 压阻式传感器:356 传感器设计:246 芯片工艺:228 温度性能:213 制导系统:207
	悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000 金虎收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2012/03/06 加速度传感器:6637 悬臂梁结构:5502 压阻式:4054 微机械:2896 小量程:437 薄膜应力:416 横向效应:388 氧化硅:368 复合薄膜:329 应力作用:298