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反应磁控溅射制备AlN薄膜及其耐腐蚀性能研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
王雄伟
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浏览/下载:164/0
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提交时间:2019/10/31
反应磁控溅射
AlN薄膜
腐蚀
极化曲线
电化学阻抗谱
Reactive magnetron sputtering
AlN film
Corrosion
Polarization curve
Electrochemical impedance spectroscopy
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线
TiN薄膜沉积条件对组织结构和结合力的影响
期刊论文
OAI收割
材料与冶金学报, 2015, 卷号: 14, 期号: 3, 页码: 211-216, 221
作者:
肖娜
;
杜菲菲
;
邢韵
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2015/11/23
反应磁控溅射
TiN薄膜
沉积时间
基板温度
结合力
反应磁控溅射制备高性能氧化铌薄膜
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
邵宇川
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/28
反应磁控溅射
氧化铌薄膜
激光损伤阈值
理论模型
SiC长纤维表面(Al+Al_2O_3)复合涂层的制备
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2011, 期号: 4, 页码: 497-501
张露
;
石南林
;
宫骏
;
裴志亮
;
高立军
;
孙超
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/04/12
SiC纤维
反应磁控溅射
扩散阻挡层
复合涂层
残余应力
直流反应磁控溅射CrNX 功能装饰涂层的研究
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2010, 期号: 3
张 栋
;
孙丽丽
;
郑 贺
;
汪爱英
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/07/22
反应磁控溅射
CrNX
耐磨性
MoCN基硬质薄膜的气相合成、表征及物性研究
学位论文
OAI收割
硕士, 宁波: 中国科学院研究生院, 2009
吕鹏辉
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2010/01/11
MoCN
纳米复合膜
同质异构膜
反应磁控溅射
摩擦系数
抗氧化性
掺杂浓度对中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce~(3+)薄膜发光性能的影响
期刊论文
OAI收割
真空, 2009, 期号: 2, 页码: 33-37
闫绍峰
;
骆红
;
廖国进
;
巴德纯
;
闻立时
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/04/12
三氧化二铝薄膜
中频反应磁控溅射
掺杂浓度
光致发光
Ce
双层TiO_xN_y光谱选择性吸收薄膜特性的研究
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2008, 期号: 5, 页码: 450-453
王贺权
;
王志坚
;
巴德纯
;
沈辉
;
陈达
;
闻立时
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/04/12
直流反应磁控溅射
TiOxNy
选择性吸收薄膜
反射率
直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO_2薄膜反射率性质的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2008, 期号: 1, 页码: 55-58
王贺权
;
巴德纯
;
沈辉
;
闻立时
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/04/12
直流反应磁控溅射
二氧化钛薄膜
太阳电池
反射率