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机构
上海微系统与信息技术... [4]
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2007 [1]
2005 [1]
1995 [1]
1994 [1]
1993 [1]
学科主题
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共5条,第1-5条
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251
庞程
;
赵湛
;
杜利东
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2010/05/19
电容压力传感器
各向异性腐蚀
阳极键合
反应离子深刻蚀
硅的电化学深刻蚀技术
会议论文
OAI收割
第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005
王连卫
;
吴俊徐
;
陈瑜
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2012/01/18
硅衬底 电化学深刻蚀 传感器 深反应离子刻蚀 阳极氧化 微纳米通道
反应离子深刻蚀硅的研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 1995, 期号: 03
姜建东
;
孙承龙
;
王渭源
;
王德宁
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2012/03/29
K1 反应离子刻蚀
各向异性深刻蚀
侧壁保护机制
刻蚀速率
SF_6/CCl_2F_2反应离子深刻蚀硅中加O_2的研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1994, 期号: 04
姜建东
;
孙承龙
;
王渭源
;
王德宁
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/29
K1 反应离子刻蚀
各向异性深刻蚀硅
聚合物掩蔽膜
蚀刻速率
蚀刻形貌
反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1993
姜建东
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提交时间:2012/03/06
反应离子深刻蚀
模型模拟
深刻蚀硅
工艺