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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251
庞程; 赵湛; 杜利东
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2010/05/19
硅的电化学深刻蚀技术 会议论文  OAI收割
第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005
王连卫; 吴俊徐; 陈瑜
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2012/01/18
反应离子深刻蚀硅的研究 期刊论文  OAI收割
传感技术学报, 1995, 期号: 03
姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2012/03/29
SF_6/CCl_2F_2反应离子深刻蚀硅中加O_2的研究 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 1994, 期号: 04
姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/03/29
反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 1993
姜建东
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2012/03/06