机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 电子学研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2018 [1]
• 2015 [1]
• 2012 [2]
• 2009 [1]

学科主题

• Sensor [1]
• Vacuum [1]
• 传感器 [1]
• 核技术及应用 [1]
• 真空电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 非蒸散型吸气剂的研究进展 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 08, 页码: 650-656 作者:  颜攀;  韩兴博;  冷海燕;  刘卫   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/12/30 合金  非蒸散型吸气剂  激活温度  吸气剂性能   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：195/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   在真空室内表面形成非蒸发吸气剂膜（TiZrV）抽气层的特性研究 学位论文  OAI收割 2009 蒙峻   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2010/01/24 非蒸发型吸气剂