机构

• 光电技术研究所 [1]
• 自动化研究所 [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2011 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 单幅圆条纹相位展开光刻对准研究 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 11, 页码: 141-146 作者:  徐锋;  胡松 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/23 信息光学  光刻  对准  相位展开  包裹相位  封闭条纹  极坐标   半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 褚金钱 收藏  |  浏览/下载：94/0  |  提交时间：2013/08/19 装载端口  预对准  坐标系标定   直角坐标机器人的运动规划及控制策略研究 学位论文  OAI收割 工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2011 作者:  杨平 收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2015/09/02 直角坐标机器人  乒乓球机器人  飞行轨迹预测  运动规划  运动控制  宏微协调运动  坐标对准  坐标纠正  Cartesian robot  table tennis robot  ball flying trajectory prediction  motion planning  motion control  macro-micro coordinated movement  coordinate alignment  coordinate correction