机构

• 金属研究所 [4]
• 高能物理研究所 [3]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [8]

内容类型

• 期刊论文 [7]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]
• 2011 [1]
• 2010 [2]
• 2009 [1]
• 2007 [1]
• 2005 [1]
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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311 程华; 钱永产; 薛军; 吴爱民; 石南林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/12/25 材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  ECR-PECVD  放电气体   基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2011, 期号: 4, 页码: 408-412 程华; 王萍; 崔岩; 吴爱民; 石南林 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/12 材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  ECR PECVD  吸收系数  光学带隙   用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2010, 期号: 5, 页码: 547-549 程华; 张昕; 张广城; 刘汝宏; 吴爱民; 石南林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/12 材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  Ar稀释SiH_4  ECR-PECVD  微波功率   硅基薄膜太阳电池研究进展 期刊论文  OAI收割 红外, 2010, 卷号: 31, 期号: 5, 页码: 1-7 作者:  窦亚楠;  褚君浩   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/07/06 硅基薄膜电池  氢化非晶硅  氢化微晶硅  多晶硅薄膜   PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究 学位论文  OAI收割 博士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009 程华 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2012/04/10 微晶硅薄膜  PECVD  Ar放电  沉积速率  组织结构  结晶状态  薄膜稳定性  电学特性  光学特性   微晶硅薄膜的表面粗糙度及其生长机制的X射线掠角反射研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2007, 期号: 4, 页码: 2422-2427 作者:  周炳卿;  刘丰珍;  朱美芳;  周玉琴;  吴忠华 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线掠角反射  微晶硅薄膜  表面粗糙度  生长机制   利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2005, 期号: 5, 页码: 2172-2175 作者:  周炳卿;  刘丰珍;  朱美芳;  谷锦华;  周玉琴 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/12/25 微晶硅薄膜  微结构  微空洞  x射线小角散射   高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 1998, 期号: 9, 页码: 89-94 作者:  郭晓旭;  朱美芳;  刘金龙;  韩一琴;  许怀哲 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/12/25 微晶硅薄膜  薄膜微结构  晶化过程  稀释度  晶态  微空洞  衬底温度  红外谱  散射强度  小角