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	基于TinyOS的无线传感器网络构建期刊论文 OAI收割单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07 肖建荣; 钱建生; 王营冠; 陆晔顼收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术压阻碰撞加速度计
	微机械陀螺结构形状自组织优化方法期刊论文 OAI收割机械工程学报, 2007, 期号: 07 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术三轴加速度计压阻高g 塑封
	梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响期刊论文 OAI收割半导体学报, 2005, 期号: 02 董林玺; 车录锋; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/01/06 硅微机械陀螺微机械加工技术
	基于微机械加工技术的双腔型生物传感器期刊论文 OAI收割化学通报, 2003, 期号: 08 贾能勤; 章宗穰; 朱建中; 张国雄收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2012/03/29 K1 双腔型生物传感器微机械加工技术半乳糖葡萄糖
	微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟期刊论文 OAI收割固体电子学研究与进展, 2003, 期号: 04 车录锋; 熊斌; 黄小振; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械陀螺动力学方程角速度传感器微机械加工技术
	硅基微机械光开关研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2003 王浙辉收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/03/06 微机械光开关硅微加工技术插入损耗
	硅光栅技术期刊论文 OAI收割光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15 作者: 刘剑收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2013/03/11 硅光栅:8344 衍射光栅:2782 各向异性刻蚀:2681 制作工艺:2002 光刻胶:1650 闪耀光栅:1645 微机械:1511 微细加工技术:1326 多晶硅:1050 反射光栅:922
	利用LIGA技术研制超微步进电机期刊论文 OAI收割微特电机, 2001, 期号: 3, 页码: 18-20 作者: 伊福廷; 彭良强; 张菊芳; 韩勇收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2015/12/25 LIGA技术超微步进电机微机械系统微加工技术
	微型静电悬浮结构的模拟研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） , 1993 李宝清收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2012/03/06 微型静电悬浮系统模拟分析微机械加工技术