机构

• 长春光学精密机械与物... [7]
• 上海微系统与信息技术... [6]
• 上海光学精密机械研究... [2]
• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [16]

内容类型

• 期刊论文 [11]
• 会议论文 [3]
• 学位论文 [1]
• 成果 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2007 [1]
• 2005 [4]
• 2004 [1]
• 更多

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共16条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 磁流变抛光技术在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究进展（英文） 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 272-278 作者:  张峰 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/07/06 光学制造  磁流变抛光  磁流变抛光液  去除函数  驻留时间  带式磁流变抛光   磷酸盐激光钕玻璃环形抛光工艺研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  单海洋 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/11/28 环形抛光，磷酸盐激光钕玻璃，抛光液，抛光胶，像散   基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计 期刊论文  OAI收割 电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 04, 页码: 366-371 作者:  于淼;  郑楠;  尹志生;  闫丰;  彭吉 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2014/03/07 逆补偿  复合控制  抛光液供给   磷酸盐激光玻璃的化学机械抛光 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 8, 页码: 1151, 1154 张宝安; 朱健强; 樊全堂 收藏  |  浏览/下载：1083/204  |  提交时间：2009/09/18 材料  materials  激光玻璃  laser glass  光学加工  optical processing  抛光液  polishing slurry   膜显色DNA芯片技术检测丙型肝炎病毒基因型及临床意义 期刊论文  OAI收割 江苏医药, 2005, 期号: 06 王永忠; 毛红菊; 周国平; 吴国祥; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 超大规模集成电路  化学机械抛光  纳米  抛光液  全局平坦化   硅衬底超精密CMP中抛光液的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 钟旻; 张楷亮; 宋志棠; 封松林 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/18 化学机械抛光 胶体SiO2 抛光速率 抛光液   半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 张楷亮; 宋志棠; 钟晻; 郑鸣捷; 刘卫丽; 封松林; 董尧德; 汪贵发; 楼春兰 收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2012/01/18 硅晶片 双面抛光 化学机械抛光 抛光液   Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 刘奇斌; 张楷亮; 王良咏; 封松林; 宋志棠 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/18 Ge2Sb2Te5 相变存储器 化学机械抛光 电化学 抛光液   改性介孔二氧化硅/有机大分子复合磨料及其化学机械抛光液的制备 成果  OAI收割 2004 张劲松; 张军旗; 杨永进; 曹小明; 刘强; 李明天; 梁燕; 杨振明; 谢素箐; 江小平; 张革 收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2013/07/24 复合磨料  化学机械抛光液   球磨法制备锂金属氮化物及电化学性能研究 期刊论文  OAI收割 无机材料学报, 2003, 期号: 04 王可; 杨军; 解晶莹; 刘宇; 王保峰 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 化学机械抛光  平坦化  薄膜  特大规模集成电路  抛光液