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半导体材料 [1]
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HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2022, 页码: 8
作者:
高方圆
;
许亿
;
李国栋
;
李光
;
夏原
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提交时间:2022/10/17
HiPIMS
氧化铝薄膜
室温
晶化诱导
能量调控
金属诱导晶化多晶硅薄膜及作为薄膜晶体管的特性研究
学位论文
OAI收割
博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
彭尚龙
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2014/08/14
多晶硅薄膜
Ni诱导晶化
硅化物诱导晶化
薄膜晶体管
基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 2, 页码: 132-137
作者:
董再励
;
曲艳丽
;
周磊
;
刘柱
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提交时间:2012/05/29
光诱导介电泳
氢化非晶硅
光电导薄膜
自动化操作
ODEP芯片
虚拟电极
运动速度
聚苯乙烯
交流电压
实验研究
Ni金属诱导晶化非晶硅(a-Si∶H)薄膜
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2005, 期号: 05, 页码: 41-44
作者:
张志伟
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提交时间:2013/03/11
氢化非晶硅
多晶硅
金属诱导晶化
金属诱导横向晶化
用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2005, 期号: 02, 页码: 128-132
廖燕平
;
邵喜斌
;
吴渊
;
骆文生
;
付国柱
;
荆海
;
马凯
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提交时间:2013/03/11
多晶硅薄膜
金属诱导准分子激光晶化
NiSi2
金属Ni诱导横向晶化的结构及工艺进程的优化
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2002, 卷号: 23, 期号: 11, 页码: 7,1217_1223
作者:
卓铭
;
徐秋霞
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提交时间:2010/05/25
金属镍
金属诱导横向晶化
晶粒间界
籽晶区
二硅化镍
半导体
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 250-254
刘传珍
;
杨柏梁
;
张玉
;
李牧菊
;
吴渊
;
廖燕平
;
王大海
;
邱法斌
;
李轶华
;
黄锡珉
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提交时间:2013/03/11
金属诱导晶化
多晶硅薄膜
退火
机械力诱导非晶晶化的研究
会议论文
OAI收割
94秋季中国材料研讨会, 北京, 1994-11-15
范国江
;
全明秀
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提交时间:2013/08/21
金属玻璃
晶化
诱导
机械化