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OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [8]
学位论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2005 [3]
2003 [2]
1999 [2]
1998 [1]
1994 [1]
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学科主题
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氢离子注入法提高InAsP/InP应变多量子阱发光特性(英文)
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2008, 期号: 04
曹萌
;
吴惠桢
;
劳燕峰
;
曹春芳
;
刘成
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/01/06
氮化硅薄膜
SOI结构
多孔硅外延转移
富硅量不同的富硅氮化硅薄膜的光致发光研究
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2005, 期号: 02, 页码: 103-106
作者:
张振中
;
申德振
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
氮化硅薄膜
光致发光
Si团簇
量子限制效应
MC-CDMA系统迭代检测中的一种基于EM的信道估计算法
期刊论文
OAI收割
电子与信息学报, 2005, 期号: 11
王鹏
;
姜华
;
刘海涛
;
杨根庆
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
氮化硅薄膜
有机发光器件
封装
基于MEMS技术的温湿压集成传感器
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 166-168
王奇,赵湛,曾欢欢,方震,张博军
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2010/09/02
MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜
正极添加剂对MH/Ni电池高温充电行为的影响
期刊论文
OAI收割
电池, 2003, 期号: 02
夏保佳
;
林则青
;
马丽萍
;
徐乃欣
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜
SOIM新结构
多孔硅外延转移
ECR—PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2003, 卷号: 034
作者:
吴先球
;
陈俊芳
;
熊予莹
;
吴开华
;
仁兆杏
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提交时间:2020/11/25
ECR-PECVD
制备
氮化硅薄膜
键态结构
0.5μm分辨率同步辐射X射线光刻技术
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 4,32_34,5
作者:
谢常青
;
伊福廷
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/05/25
X射线光刻
分辨率
同步辐射
氮化硅薄膜
0.5μm分辨率同步辐射X射线光刻技术
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 32-34+5
作者:
谢常青
;
叶甜春
;
孙宝银
;
伊福廷
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2015/12/25
X射线光刻
分辨率
同步辐射
氮化硅薄膜
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅薄膜的防潮性能研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1998
林辉
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2012/03/06
等离子休增强化学气相沉积
氮化硅薄膜
塑封
防潮性能
IBED薄膜合成及TiAl表面改性研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1994
徐东
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/06
离子束增强沉积
氮化铝薄膜
抗腐蚀性
氮化硅薄膜
表面改性