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机构
微电子研究所 [3]
新疆理化技术研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2005 [1]
2000 [1]
1997 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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超深亚微米S0I NMOSFET关态应力下的热载流子效应
会议论文
OAI收割
第十届全国博士生学术年会, 济南, 2012
作者:
余学峰
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/11/10
SOI
超深亚微米
寄生双极效应
背栅晶体管
沟道长度
热载流子效应
0.1μm槽栅CMOS器件及相关特性
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 4,532-535
作者:
张晓菊
;
孙宝刚
;
郝跃
;
任红霞
;
马晓华
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/05/26
槽栅结构
Cmos
超深亚微米
深亚微米栅HFET器件工艺研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 4,193-196
作者:
和致经
;
郑英奎
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2010/05/25
混合曝光
Hfet
T型栅
工艺研究
深亚微米栅
用KrF准分子激光移相光刻研制深亚微米栅长InP/In0.75Ga0.25As/InP HEMT
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 1997, 期号: 6, 页码: 4,47-50
作者:
钱鹤
;
刘训春
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/05/25
Hemt器件
移相光刻
准分子激光
深亚微米栅