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光栅 [1]
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二次布拉格角入射下深刻蚀亚波长光栅的简化模式分析
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
孙竹梅
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浏览/下载:176/0
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提交时间:2016/11/28
严格耦合波方法
简化模式方法
光栅分束器的归一化设计
二次布拉格角入射
深刻蚀亚波长光栅
深刻蚀石英光栅的设计与制作
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
冯吉军
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浏览/下载:123/0
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提交时间:2016/11/28
简化模式理论
深刻蚀光栅
石英分束器
正弦槽型
归一化设计理论
深刻蚀石英光栅中的模式方法
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
吕鹏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2016/11/28
熔融石英深刻蚀光栅
波长无关分束光栅
宽带光栅
归一化简化模式方法
法布里-珀罗干涉模式方法
平面电磁型微电机定转子制作工艺
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者:
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/09/25
微电机
大深宽比
平面线圈
深刻蚀
微电铸
基于深刻蚀光栅的飞秒脉冲压缩装置
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
贾伟
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2016/11/28
高密度深刻蚀光栅
多台阶反射光栅
飞秒激光脉冲
群速度色散
光学脉冲压缩
频率分辨光学开关法
单发飞秒测量装置
模式理论与石英光栅的设计与加工
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
曹红超
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/28
简化模式理论
偏振无关
深刻蚀光栅
减反射光栅
占空比测量
基于MEMS技术的光纤声传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
许晓昕
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251
庞程
;
赵湛
;
杜利东
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2010/05/19
电容压力传感器
各向异性腐蚀
阳极键合
反应离子深刻蚀
深刻蚀光栅的最新进展
期刊论文
OAI收割
中国科学基金, 2007, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 354
无
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浏览/下载:1289/151
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提交时间:2009/09/18
亚波长光栅
深刻蚀
表面浮雕结构
激光核聚变装置
偏振控制
刻蚀深度
衍射效率
光学器件
基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex 7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅